RTG fluorescenční spektrometr ElvaX II

Každý chemický prvek vyzařuje rentgenové záření s charakteristickou energií (nebo vlnovou délkou) po excitaci primárním rentgenovým zářením. Vzorek je ozářen primárním rentgenovým paprskem ze zdroje. Rentgenové záření má dostatek energie na to, aby „vyrazilo“ vnitřní elektrony (z vnitřních vrstev) atomů v materiálu. Po odstranění elektronu vznikne „díra“, kterou nahradí elektron z vyšší energetické hladiny. Při tomto přeskoku elektron uvolní energii ve formě charakteristického rentgenového záření – to je právě to fluorescenční záření. Detektor zaznamená energii i intenzitu záření a vytvoří spektrum. Z energie záření se určí, jaké prvky jsou ve vzorku. Z intenzity záření se pak dá odhadnout, kolik každého prvku ve vzorku je (kvantitativní analýza).